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夜以继日!中国高端光刻机只剩最后一道难关! 此前清华大学成功突破EUV光源技术,中科院攻克了双工作台技术,这意味着光刻机双工作台、光源和光学镜头三大核心组件已完成两项技术突破。 而中科院高能物理所正在研发光学镜头,负责安装国内…
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