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华为自研光刻机?看来是真的!根据日前国内专利交易检索平台SeenPat发布的资料显示,华为发明了一项新专利,专利名称是“反射镜、光刻装置及其控制方法”,可有效解决EUV光刻机“相干光固定的干涉图样而无法匀光”的难题。祝福华为。 , page 2
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