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复旦大学微电子学院昨天官宣,该学院教授周鹏、研究员包文中及信息科学与工程学院研究员万景团队绕过 EUV 工艺,研发出性能优异的异质CFET技术。 简单来说,就是使用该技术制造7nm以下的高端芯片,不需要EUV光刻机了,生产成本将远…
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