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2023年6月7日,华泰证券研报:上海微电子或将在明年交付国产第一台 28nm的immersion式光刻机; 2023年7月31日,官媒《证券日报》报道:有消息称,上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机,预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场;…
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