【佳能推出适合高功能半导体的光刻机】在半导体光刻机领域，ASML和佳能、尼康3家企业占据全球9成以上份额。佳能改进了面向小型基板的光刻机，更新了测量晶圆位置的构件和软件，使生产效率提升约17%………

发布时间: 2021-01-05 09:16:42

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【佳能推出适合高功能半导体的光刻机】在半导体光刻机领域，ASML和佳能、尼康3家企业占据全球9成以上份额。佳能改进了面向小型基板的光刻机，更新了测量晶圆位置的构件和软件，使生产效率提升约17%………
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