【东京电子将向ASML提供面向新一代EUV的设备】东京电子将提供在全球掌握近9成份额的“涂布显影设备”，计划将这一设备与荷兰ASML的新一代极紫外（EUV）光刻设备组合为一体。EUV光刻设备是半导体微细化不可或缺的技术，目前全球…

发布时间: 2021-06-11 08:30:31

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【东京电子将向ASML提供面向新一代EUV的设备】东京电子将提供在全球掌握近9成份额的“涂布显影设备”，计划将这一设备与荷兰ASML的新一代极紫外（EUV）光刻设备组合为一体。EUV光刻设备是半导体微细化不可或缺的技术，目前全球…
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