冷知识：二十世纪60年代我国开始布局研发光刻机，那时，荷兰光刻机制造巨头 ASML还没有成立。二十世纪七十年代，中国科学院开始研究计算机辅助光掩模工艺。一九七二年武汉三厂编拟工业生产指南“光刻掩版制造”。1977年，中国科学院化学…

发布时间: 2022-04-22 20:57:01

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冷知识：二十世纪60年代我国开始布局研发光刻机，那时，荷兰光刻机制造巨头 ASML还没有成立。二十世纪七十年代，中国科学院开始研究计算机辅助光掩模工艺。一九七二年武汉三厂编拟工业生产指南“光刻掩版制造”。1977年，中国科学院化学…
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