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28nm光刻机成功!《杭州市临安区经济和信息化局关于区政协十届一次会议第203号提案的复函》:启尔机电承担光刻机浸液系统项目、光刻机受制约关键零部件国产化产品研发项目等两个02专项,其中,光刻机浸液系统项目成功交付0号样…
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