【光刻机巨头ASML回应荷兰最新DUV出口管制】ASML在声明中强调，新出口管制并只适用于所谓“最先进的”，并且管控措施转化为立法并生效还需要时间。这或许意味着，TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的、14nm及以上制程的浸没式DUV机型不在受限范围。

发布时间: 2023-03-10 09:00:23

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【光刻机巨头ASML回应荷兰最新DUV出口管制】ASML在声明中强调，新出口管制并只适用于所谓“最先进的”，并且管控措施转化为立法并生效还需要时间。这或许意味着，TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的、14nm及以上制程的浸没式DUV机型不在受限范围。
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